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“我知道光刻機的塗膠原理其實跟相機膠片暴光差不多，最近我也一直在惡補這方麵的知識。
我知道像光刻機的生產效率、良率以及最小解析度均在不斷髮展。
而光刻機的最小解析度由一個公式R=kλ/NA控製。
其中R代表可分辨的最小尺寸也就是我們追求的精度，那麼肯定就是R越小越好，k是工藝常數代表我們的工藝技術,λ.....λ...。
λ是什麼來著？”
說到這裡，李秀成像是卡了殼，撓著腮幫子說道。
周宏一臉好為人師的表情笑道：“λ是光刻機所用光源的波長，我們現在研究的就是G線光刻機，波長346NM。
NA代表物鏡數值孔徑這個東西也就是關鍵的暴光係統。
這也是最難的東西，我們現在造的都是落後彆人十年的參數產品。
反正，光刻機製程工藝水平的發展是一直遵循你說這個公式的。
現在米國的最新型光刻機已經可以生產800NM製程的晶片，我們卻還在1200
m徘徊，還差得遠囉！”
說到最後，周宏反而一臉失落，也冇了開始的興致。
“哦，真複雜！”李秀成做出一臉我很懵的表情，然後話鋒一轉道：“但我大致抓到了兩個重點，光源、物鏡折射率！
想要提升晶片的生產效率和良率，是必須要同時發展光刻機的內部構造和工作模式。
那麼我們可以從整體因素考慮，為什麼不換一種光源，然後再換一種折射介質？”
“嗯？”周宏回過神來，有些奇怪的說道：“現在光線就G線和I線兩種，波長在三百多到四百左右，確實比較大，而且國際上的公同認知是在193
m縮短到157
m製程時會出現瓶頸。
但折射介質是什麼說法？”
見周宏來了興趣，李秀成嘴角微勾然後迅速恢複原狀。
這也就是現在的乾式微影光刻機和浸冇式光刻機的最大區彆了！
他故意做出一臉不確定的說道：“光線我覺得可以多做試驗，把什麼XYZ射線啊，紫外線，極光都試試，總能找到最合適的。
至於折射率嘛，現在的光刻機光波是在空氣中傳播，然後照射暴光。
但我們讀書時不是有個知識點，是光進入不同的介質波長會有所改變嘛？
那麼我們能不能把物鏡折射後的光源再次進行一次介質折射。
比如水，比如其他的液體！”
一口氣說完最核心的東西，李秀成捧起茶杯看向周宏。
此刻，周宏呆坐當場。
但一雙微眯著的眼睛和緊皺的眉頭卻顯示出他的腦子裡正在進行劇烈的思索。
李秀成冇有催促，甚至冇有說一句話，就捧著茶杯靜靜的等待著。
直到胡英梅和老太太走了出來，兩人見客廳如此安靜，再看到周宏像是泥塑木雕一般的狀態，不由大為好奇。
“怎麼了老頭子？”老太太不輕不重的叫了一聲。
嗯！
周宏一個激靈回了神，也不管老太太好奇的表情，前頃著身子兩眼放光的看著李秀成，有些激動的說道：“李總，你這個方法的原理是完全可以說得通的！
但其中的難點也非常多。
我....我覺得我們可以試一試。
如果能夠成功，這將是迥異於現在光刻機原理的新思路，我們可能獲得巨大的進步與成功。
甚至，甚至理論中的157NM瓶井難題也將迎刃而解。”
越說，周宏越激動，甚至站了起來，雙手舞動，像是恨不得現在就回實驗室大乾一場。
嗬嗬，成了！
看他這個狀態，李秀成滿意極了，自己不愧是當紅的廣告主角，演技簡直爆棚！
微笑道：“既然周教授也覺得可行，那當然是要好好研究一下。
這樣吧，選一批精英人才簽保密協議，然後開始試著研發一下。”
周宏點頭：“保密是肯定的，另外我覺得可以給這種方法取個新名字好方便稱呼。
咱們現在用的是空氣折射介質，這種方法是光在液體中傳播。
要不就叫濕式？”
李秀成嘴角抽搐：“濕式？這也太拗口了吧。”
“哦，是有點，那李總有什麼建議？”
“浸入，浸冇都可以！”-
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